★該立式真空鍍膜設備可分為單門或雙門蒸發鍍膜機、單門或雙門磁控鍍膜機、單門或雙門磁控蒸發組合AF鍍膜機,蒸發鍍膜機可蒸發鍍鋁絲和鋁片。磁控鍍膜機可鍍的工藝膜系有:金膜、銀膜、鋁膜、鈦金膜、不銹鋼膜等單質膜和氧化膜、復合膜、增透膜、增亮膜、光學膜、ITO導電膜、EMI屏蔽膜等等。設備能生產的產品有銀鏡、鋁鏡、彩色玻璃、工藝玻璃、光伏玻璃、光電玻璃、ITO導電玻璃、非導玻璃等,以及PC、PVC、PET等材料表面鍍AR、AF、ITO、非導等膜和(he)金屬單(dan)質膜等工藝。設(she)備主要應(ying)用在手(shou)機鏡片(pian)和手(shou)機后蓋鍍膜、電子、電器、軍工、家電、五金、玩具(ju)、汽車、建(jian)筑、建(jian)材、燈飾、裝飾等眾多行業領域。本設備的優點:抽速快及穩定、產量高、轉動結構運行平穩不卡頓。高真空部分可根據客戶實際需要全選擇油擴散泵或分子泵,或兩者搭配使用;設計有防返油機構,減少對產品的污染;使用國內或國外知名品牌真空泵機組,加上人性化結構設計理念和智能控制及顯示系統,如能增加使用深冷系統,會加快抽速時間及產量,使設備盡善盡美。
★工(gong)藝氣體:氬氣(qi)、氧氣(qi)、氮氣(qi)等,具(ju)體(ti)看生產的產品而定。
★靶材材質(zhi):金、銀(yin)、銅、鋁(lv)、鈦、鋯、硅(gui)、鎳、鉻、錫、銦(yin)、鈮、不(bu)銹鋼等或(huo)錫銦(yin)、硅(gui)鋁(lv)、鎳鉻等合金、鋁(lv)絲(si)、鋁(lv)片。
★磁控濺射電源:直流電源、中頻電源、離子轟擊電源、離子源電源(按客戶需要而定)、蒸發器。
★該立式磁控蒸發鍍膜設備的結構:
可分為單開門或(huo)雙(shuang)開門結構,
前級有精(jing)抽(chou)真空泵機組(zu)、粗(cu)抽(chou)真空泵機組(zu)、粗(cu)抽(chou)閥(fa)、前置閥(fa)、高(gao)真空閥(fa)、磁(ci)控濺射蒸發(fa)室(單室時轉動工件架裝在固定門(men)(men)里(li)(li);如是雙開(kai)門(men)(men)時轉動工件架裝在兩個活動門(men)(men)里(li)(li))-----有磁控(kong)濺射陰極靶或蒸(zheng)發器或者磁控濺射陰極靶和(he)蒸(zheng)發器(qi)組(zu)合,氣(qi)體系統和(he)離(li)子轟擊等。
★該立式磁控(kong)蒸(zheng)發鍍膜(mo)設備的工作流程:
在工件架(jia)上(shang)掛上(shang)或貼上(shang)基片-----如有(you)(you)蒸(zheng)(zheng)發(fa)需(xu)(xu)裝上(shang)鋁(lv)絲(si)或藥丸子-----關上(shang)大門(men),開(kai)(kai)真空(kong)泵進行抽(chou)真空(kong)----如果(guo)有(you)(you)轟擊(有(you)(you)時(shi)(shi)需(xu)(xu)要充入氬(ya)氣)開(kai)(kai)轟擊開(kai)(kai)轉動(dong)(dong)-----轟擊結(jie)束(shu)(shu)后(hou)繼續抽(chou)真空(kong)直至真空(kong)度(du)5×10-2Pa左右或更(geng)高,開(kai)(kai)蒸(zheng)(zheng)發(fa)器進行蒸(zheng)(zheng)發(fa)同時(shi)(shi)開(kai)(kai)工件架(jia)轉動(dong)(dong)(如果(guo)是磁控鍍膜的話,充工作氣體開(kai)(kai)磁控靶同時(shi)(shi)工件架(jia)轉動(dong)(dong)),-----鍍膜結(jie)束(shu)(shu)后(hou),關閉(bi)所有(you)(you)閥(fa)門(men),打開(kai)(kai)真空(kong)室放氣閥(fa)放氣,打開(kai)(kai)大門(men)取下工件。重新掛上(shang)新的工件(如此循環工作)。